簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="侵蝕"


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    拋光墊線上量測系統於修整性能分析與銅化學機械拋光之相關性研究
    • /105/ 碩士
    • 研究生: 傅彥綺 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究透過自行開發與改良的彩色共軛焦量測系統進行修整製程中,拋光墊表面形貌的量測;此外透過拋光墊修整軌跡模擬軟體,評估拋光墊之修整均勻性。實驗方法為固定修整器轉速15, 40, 65rpm對於拋光盤…
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